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推荐允许最高浓度为SUUU x lU-h}相对密度d} E21.1fi。空气=1)1.522,气体密度1.$33kg frrr=` { 21.I `C、1U1一3kPa);液体密度762kg/m3(21 .10),929kg/m3 ( U}) 高纯气体(Purified Gases)气体工业名词,通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体,纯度指标不同,例如对于氮,氢,氩,氦而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体;而对于氧气,纯度为99.99%即可称高纯氧;对于碳氢化合物,纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽,在半导体工业,高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气;高纯气体可作为配制混合气的底气。 高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体,和无机高纯气体。
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